カタログ 資料請求
カタログ 資料請求特長
ST-3541は、プローブ内に回路を内蔵していない「パッシブ型」を採用しています。このため、安定性を大きく向上させています。さらに、回路部品がないため小型化がはかれ、組み込みに最適な構造となっています。
ナノメートルの変位測定や、精密ステージの位置検出・姿勢制御、平面度、厚み測定に最適です。
卓越した高安定
下図は25℃に設定された恒温槽内における安定度の測定例です。12時間という長時間にわたり、安定した測定が行われているのが分かります。
優れた直線性 0.05%
リニアライザを必要としない、測定方式を用いることで、優れた直線性を実現しました。
- 小形プローブで取り付けがいっそう簡単にプローブ本体に回路を内蔵していないので、大幅な小型化が図れました。これにより、測定システムへの組み込みの自由度が大きく広がりました。
- 専用接続ケーブルでチャネル間の同期が可能に複数台を使用するときも、チャネル間を接続することにより、同期運転が可能になりました。同期運転は、チャネル間の干渉を防ぎ、測定結果の安定化が図れます。
- システム構築のコスト低減が図れます。複数チャネル使用時は、必要に応じた電源供給のみで増設が可能なため、システム構築のコスト低減が図れます。
高分解能測定を実現
最高分解能0.3nm-rms下図は圧電素子を階段状の電気信号で駆動させ、その変位を測定したものです。1nmという小さなステップ信号でも良好に応答確認ができます。
- 1nmステップ
階段波形：周波数0.15Hz ステップ幅1nm
帯域設定：100Hz
真空中での測定が可能
真空対応特注プローブを用いることにより、真空中での変位測定が可能になります。
応用分野
- 半導体・精密加工・顕微鏡などの精密位置決め、位置検出、姿勢制御
- 圧電素子などの振動、振幅測定
- シリコンウェハ・金属板、精密加工部品などの平面度、厚み測定
- 精密モータなどの軸振れ、面振れ、真円度測定
- ナノメートルの変位測定
変位計ST-3541 主な仕様
| 項目 | 性能 | |
|---|---|---|
| ST-3541 | 測定方式 | 静電容量方式 |
| 測定範囲 | 50±25μm、100±50μm、200±100μm、500±250μm | |
| 測定レンジにより別表プローブ１種類のみを選択する（本体と組み合わせ調整） | ||
| 出力電圧 | ＋10 ～ －10V（フルスケール） | |
| 周波数帯域 | DC～1kHz（-3dB）（約5kHz 、100Hz、10Hzに切換え可能） | |
| 同期運転 | ST-3540 1台との組み合わせで3台までの同期運転可能 | |
| 大きさ・質量 | 約110（W）×35（H）×140（L） 〔突起部を除く〕 mm 約0.4kg | |
| 電源 | ST-3540を使用 又は 外部電源±15V供給（消費電流120mA以下） | |
| 使用温湿度範囲 | 0℃ ～ 40℃ 80％RH以下 |
表示ユニットST-3540 主な仕様
| 項目 | 性能 | |
|---|---|---|
| ST-3540 | 機能 | 電源供給、同期信号供給、出力電圧モニタ |
| 変位計接続 | 変位計ST-3541を3台まで接続可能CH-A、CH-B、CH-C（D-SUB9pin ×3） | |
| 表示部 | 4桁半 赤色LED（ 変位計出力電圧＋オフセット電圧）をデジタル表示 | |
| 有効表示範囲：±10.300 | ||
| 表示電圧確度：±0.2%±5カウント（選択chに接続されたST-3541出力電圧との差） | ||
| 表示選択：A、B、C、A+B、A-B | ||
| オフセット：±4.999Vまでオフセットをかけることが可能 | ||
| モニタ出力 | 表示選択された信号を背面から出力（アナログ電圧） | |
| 出力電圧確度：±0.1%±2mV（選択chに接続されたST-3541出力電圧との差） | ||
| 最大周波数帯域 1kHz（本体側のフィルタ設定に依存） | ||
| 同期運転 | ST-3540 2台の同期が可能（合計でST-3541×6台のシステムが可能） | |
| 大きさ・質量 | 約110（W）×110（H）×180（L） 〔突起部を除く〕 mm 約1.8kg | |
| 電源電圧 | AC100V/110/220/240V 50/60Hz 電圧設定は工場オプションによる | |
| 消費電力 | 最大30VA | |
| 動作温湿度範囲 | 0℃～40℃ 80％RH以下 |
標準プローブ別性能表（ケーブル長３ｍ）
| 型名 | 電極径 [mm] | 測定範囲 [um] | 分解能（BW=1kHz） [um rms] | 直線性[％] |
|---|---|---|---|---|
| ST-0403-50 | 5.0 | 50±25 | 0.0003 | 0.10 |
| ST-0403-100 | 100±50 | 0.001 | 0.05 | |
| ST-0403-200 | 200±100 | 0.003 | 0.05 | |
| ST-0403-500 | 500±250 | 0.012 | 0.05 | |
| ST-0402-50 | 2.5 | 50±25 | 0.001 | 0.10 |
| ST-0402-100 | 100±50 | 0.003 | 0.05 | |
| ST-0402-200 | 200±100 | 0.008 | 0.05 | |
| ST-0402-500 | 500±250 | 0.05 | 0.05 | |
| ST-0401-50 | 1.0 | 50±25 | 0.004 | 0.10 |
| ST-0401-100 | 100±50 | 0.015 | 0.05 |
特注プローブ別性能表（ケーブル長３ｍ）
| 型名 | 電極径 [mm] | 測定範囲 [um] | 分解能（BW=1kHz） [um rms] | 直線性[％] |
|---|---|---|---|---|
| ST-0403A-1000 | 5.0 | 1000±500 | 0.06 | 0.30 |
※プローブは、別売りです。
標準プローブ外形寸法表 （特注プローブはST-3541(各種プローブ)＆振動計カタログを参照願います）
アプリケーションに合わせて自由にシステム構成が可能
アプリケーションノート
*ST-3541は、外国為替および外国貿易法の規定により規制貨物（または技術）に該当しますので、輸出する場合は日本政府の輸出許可が必要です。製品改良等により、外観および性能の一部を予告なく変更することがあります。
