レーザドップラ振動計 V100シリーズ(製造元:電子技研工業株式会社)
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レーザドップラ振動計とは、センサヘッドからレーザ光を振動物体に照射し、振動物体から反射されたレーザ光(ドップラシフトしたレーザ光)の周波数変化(速度変化)を電圧に変換(F/V変換)して振動現象を検出する非接触型の振動速度センサです。 信号処理回路により速度信号を変位信号や加速度信号へ変換し、出力することもできます。
V100シリーズ コントロールユニット 仕様
型名 | V100-LM | V100-MS | V100-S |
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測定周波数範囲 | 0.5Hz~300kHz | ||
速度測定範囲 | 3μm/s~10m/s | 0.05μm/s~1m/s | 0.05μm/s~0.1m/s |
速度レンジ | 2m/s/V 0.2m/s/V |
0.2m/s/V※ 0.02m/s/V |
0.02m/s/V |
速度出力 | 電圧 ±5V VELOCITY端子(BNC) | ||
測定精度 ±2%以内 | |||
ローパスフィルタ | 3kHz, 30kHz, 300kHz | ||
ハイパスフィルタ | 0.5Hz, 30Hz, 300Hz | ||
インジケータ | 10エレメントLED (SIGNAL LEVEL 表示) | ||
モニタ出力 | SIGNAL LEVEL 0~+5V | ||
変位モジュール | S1端子より出力(オプション) | ||
変位・加速度モジュール | 変 位 : S1端子より出力(オプション)、加速度: S2端子より出力(オプション) | ||
SHUTTER ON/OFF | ON:端子短絡(レーザ光出射)、OFF:端子開放(レーザ光閉) | ||
外形寸法 | 約115(W)×111(H)×281(D)mm (突起物含まず) | ||
重量 | 約3.8kg |
※ 測定周波数範囲 0.5Hz~50kHz
V100シリーズ センサユニット 仕様
方式 | 光ヘテロダイン法 |
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レーザ光源 | He-Neレーザ(波長 632.8nm) |
射出光出力 | 1mW 以下 |
レーザ安全基準 | クラス2 JIS C6802規格適合 |
測定距離(WD) 集光レンズ取付面より | 295mm ~ 700mm (集光レンズ+5mm接写リング使用時) 400mm ~ 2m と(集光レンズ使用時) |
ビーム径 | Φ20μm(測定距離340mm時) |
インジケータ | 10エレメントLED(SIGNAL LEVEL 表示) |
外形寸法 | 約57(W)×111(H)×259(D)mm (突起物含まず) |
重量 | 約2.2kg(プレート無し)/約2.7kg(有り) |
V100シリーズ 一般仕様
接続ケーブル |
AC-DCケーブル長 3m |
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電源 | AC100V~240V(±10%) 50/60Hz |
消費電力 | 約42VA |
動作温度範囲 | 0~45℃ |
動作湿度範囲 | 20~80%(但し結露しないこと) |
V100シリーズ アプリケーション
弾性波の振動測定
非破壊検査分野でよく用いられる弾性波の測定例です。左図では、被測定物に金属(黄銅)を使用しています。黄銅の端部をソレノイド式励振器を用いて励振し、黄銅を伝播してきた弾性波をレーザドップラ振動計で測定しています。測定ポイントを移動させて多点測定を行うことで、移動距離と遅れ時間より弾性波の伝播速度を測定したり、被測定物内部の状態を測定することにも用いられます。励振器について、打撃による直接的な方法の他、別途パルス式YAGレーザを使用することで、完全非接触で被測定物を励振することもできます。
水晶振動子(圧電素子)の振動測定
振動周波数40kHzタイプの水晶振動子(圧電素子)の電極部にレーザ光を照射し、ピンポイントで振動波形を測定。レーザドップラ振動計を使用することで、レーザ光の光軸方向の振動成分を、高い空間分解能で測定できます。写真1のレーザ照射ポイントで、速度4mm/s(0-peak)(=変位16nm(0-peak))の振動波形を測定。(グラフ参照)照射ポイントをスキャンさせることにより、振動分布の測定も可能です。
ハードディスクドライブ(HDD)の振動測定
ハードディスクドライブ(HDD)のフライングヘッドの測定例です。ディスクが回転している時の測定を行いました。 測定結果の一例を示します。上段が振動変位、下段がFFTによるパワースペクトルです。モータの回転数(5,400rpm)を示す周波数(90Hz)のピークとその高調波を確認することが出来ます。
光ピックアップのサーボ解析
レンズの中心表面にレーザ光を照射し、光ピックアップのフォーカス方向(写真の上下方向)のサーボ特性を解析します。 光ピックアップのコントロールには、FFTの信号出力を利用し、100kHzまでの広帯域の解析を行いました。