測定方式から選ぶセレクションガイド
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変位計、厚さ計
| 方式 | 特長 | 機種 | 主要性能（オプション又は特注対応を含む） | |||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 測定範囲 | 最高分解能 | 周波数帯域 | 測定対象 | |||
| 静電容量方式高安定モデル（パッシブ型） | 高分解能 高安定 小型プローブ |
ST-3541 | ±25μm～ ±250μm（～ ±2mm） | 0.3nm rms | DC～ 5kHz | 金属、半導体 ＜大きさ＞ Φ1.2mm～ |
振動計
| 方式 | 特長 | 機種 | 主要性能 | ||
|---|---|---|---|---|---|
| 測定速度範囲 | 周波数範囲 | 測定対象 | |||
| レーザ方式 （光ドップラ） |
標準 タイプ 高感度・高精度 測定距離400mm～2m |
V100-LM | 3μm/s～10m/s | 0.5Hz～ 300kHz | レーザ光が 反射可能な面 ＜大きさ＞ Φ20μm～ |
| V100-MS | 0.05μm/s～1m/s | ||||
| V100-S | 0.05μm/s～0.1m/s | ||||
| レーザ方式 （光ドップラ） |
オートフォーカス タイプ 高感度・高精度 測定距離0.54m～10m |
AFV100-LM | 3μm/s～10m/s | 0.5Hz～ 300kHz | レーザ光が 反射可能な面 ＜大きさ＞ Φ20μm～ |
| AFV100-MS | 0.05μm/s～1m/s | ||||
| AFV100-S | 0.05μm/s～0.1m/s | ||||
| レーザ方式 （光ドップラ） |
顕微鏡 タイプ 高感度・高精度 測定距離34mm |
KV100-LM | 3μm/s～10m/s | 0.5Hz～ 300kHz | レーザ光が 反射可能な面 ＜大きさ＞ Φ4μm、8μm |
| KV100-MS | 0.05μm/s～1m/s | ||||
| KV100-S | 0.05μm/s～0.1m/s | ||||
レーザ方式の種類と測定原理
| 方式 | 測定法式と特長 |
|---|---|
| 光へテロダイン （干渉計） |
干渉計とは光の波が重なったときに起きる干渉現象を使用した測定方式で、光の波長を基準として測定するため精度が高く、高分解能を得ることが出来ます。ST-3761で採用している光ヘテロダイン式とは二つの異なる周波数の光を使った干渉計の一方式です。 |
| 光ドップラ | レーザドップラ振動計とは、センサヘッドからレーザ光を振動物体に照射し、振動物体から反射されたレーザ光（ドップラシフトしたレーザ光）の周波数変化（速度変化）を電圧に変換（F/V変換）して振動現象を検出する非接触型の振動速度センサです。信号処理回路により速度信号を変位信号や加速度信号へ変換し、出力することもできます。 |
| 三角測量式 | 被測定物に斜めにレーザ光を投光し、反射してくるレーザ光の位置を検出することで被測定物の位置や変位を測定する方式です。 |
