CS-401 Low Power Source Measure Unit

CS-8000シリーズ用の補助用電源ユニットで、最新のIGBTやパワーMOSFETなどのバックゲート特性測定や温度ダイオードなどの各種半導体の特性測定に利用できます。

  • 出力部
    • 最大ピーク電圧:4W
    • 電圧レンジ:
      100V, 50V, 20V, 10V, 5V, 2V, 1V, 500mV
    • 電流レンジ:
      200mA ~ 5nA (1/2/5ステップ)
    • 設定分解能:1/±20000
    • モード:DC
    • 極性:+/-/±
      ※電圧レンジ100Vは+/-のみ
    • 設定確度:±(設定値×1.2% + 設定レンジ×0.4%)
  • 測定部
    • 電圧レンジ:
      100V, 50V, 20V, 10V, 5V, 2V, 1V, 500mV
      ※測定レンジの125%まで測定可
    • 電流レンジ:
      200mA ~ 5nA (1/2/5ステップ)
      ※測定レンジの125%まで測定可
    • 設定分解能:1/±20000
    • 設定確度:±(設定値×1.2% + 設定レンジ×0.4%)
      ※電流測定ではさらに (測定レンジ×0.002 %×Vo)を加算 (Voは出力電圧[V])
      ※5nA~20nAレンジは±50pA加算
  • 電源
    コントロールインターフェイスより入力
  • 外形寸法
    424 mm × 44 mm × 220 mm(付属品、突起部を除く)
  • 質量
    約3kg(付属品を除く)
  • 付属品
    • ユーザガイド
    • セールスネットワーク

CS-402 Ssense Emitter Measure Unit

CS-8000シリーズ用の電流検出ユニットで、最新のIGBTやパワーMOSFETなどのエミッタを非測定デバイス内で分岐して出力される場合などに利用できます。

  • 測定部
    • 電流レンジ:
      200mA ~ 500nA (1/2/5ステップ)
      ※測定レンジの125%まで測定可
    • 設定分解能:1/±20000
    • 設定確度:±(設定値×1.2% + 設定レンジ×0.4%)
  • 電源
    コントロールインターフェイスより入力
  • 外形寸法
    424 mm × 44 mm × 220 mm(付属品、突起部を除く)
  • 質量
    約2.5kg(付属品を除く)
  • 付属品
    • ユーザガイド
    • セールスネットワーク

CS-404 Ssense Selector Unit

CS-8000シリーズ用のセンスセレクタユニットで、複数のCS-8000シリーズ オプションユニットを使用して測定する際、配線の差し替え等をせずにシームレスな測定を可能にします。

  • 制御信号
    • コントロールインターフェイス入出力
    • SENSE 入力(×4)
    • SENSE1 出力
    • SENSE2 出力
  • 電源
    コントロールインターフェイスより入力
  • 外形寸法
    424 mm × 44 mm × 220 mm(付属品、突起部を除く)
  • 質量
    約2kg(付属品を除く)
  • 付属品
    • ユーザガイド
    • セールスネットワーク

CS-405 Power Expandar Unit

CS-8000シリーズ オプションユニット用の拡張電源で、CS-8000シリーズから電源供給を受けているユニットの使用制限台数を超える場合に、使用制限台数を増やすことができます。

  • 制御信号
    • コントロールインターフェイス入出力
  • 給電機能
    コントロールインターフェイス出力より給電
    給電能力:12V / 1.7A max
  • 電源
    電源入力範囲:AC 100V ~ 240V ±10%、 50/60Hz
    消費電力:39VA max
  • 外形寸法
    424 mm × 44 mm × 220 mm(付属品、突起部を除く)
  • 質量
    約3kg(付属品を除く)
  • 付属品
    • ユーザガイド
    • セールスネットワーク

CS-200シリーズ HCユニット

CS-200シリーズ HCユニットは最大出力電流2000A、最大出力電圧40VのSMUです。
非測定デバイスの要件に合わせて、以下の3つのラインナップから選択できます。

モデル 最大電流 最大電圧
CS-220 2kA 25kW
CS-210 1kA 12.5kW
CS-205 500A 6.25kW

出力部

  • 出力電流
電流レンジ 設定分解能 モード 極性 最大ピーク電圧
2kA※1 100mA パルス +/- 41V※4
1kA※2 50mA パルス +/- 50V
500A 25mA パルス +/- 50V
200A 10mA パルス +/- 50V
100A 5mA パルス +/- 50V
50A 2.5mA パルス +/- 50V
10A 1mA パルス +/- 50V
5A 500uA パルス +/- 50V

※1:2kAはCS-220のみ
※2:1kAはCS-220/CS-210のみ
※3:設定電圧は無負荷時の場合
※4:2kAの電流レンジの場合、出力設定は41Vに制限

  • 設定確度
    ±(設定値×2% + 設定レンジ×0.1%)
  • 測定周期
    2ms ~ 5ms
  • 測定ポイント
    任意設定
  • パルス幅
    10μs ~ 500μs (2kA, 1kAレンジ)
    10μs ~ 1ms (500 ~ 5Aレンジ)
    ※パルス幅が短い場合、最大電圧/電流まで出力できない場合があります。
  • デューティ比
    ≦ 0.1% (2kA)
    ≦ 0.25% (1kA)
    ≦ 0.5% (500A, 200A)
    ≦ 1% (100A ~ 5A)
  • 出力抵抗
    Typ. 25 mΩ (2kAレンジ) Typ. 50 mΩ (1kAレンジ) Typ. 100 mΩ (500Aレンジ)

測定部

  • 電圧測定
電圧レンジ※1 設定分解能 電圧レンジ 設定分解能
50V 2.5mV 2V 100μV
20V 1mV 1V 50μV
10V 500μV 500mV 25μV
5V 250μV 200mV 10μV

※1:電圧の測定はMAIN UNIT(MV SENSE端子)にて実施

  • 電圧測定確度※2,※3
    ±(設定値×2% + 設定レンジ×0.1%)
    ※2:測定レンジ内の値
    ※3:MAIN UNITとの組み合わせの値
  • ダイナミックレンジ(電圧測定)
    測定レンジの125%まで測定可
  • 電流測定
電流レンジ 設定分解能 電流レンジ 設定分解能
1A 50μA 50μA 2.5nA
500mA 25μA 20μA 1nA
200mA 10μA 10μA 500pA
100mA 5μA 5μA 250pA
  • 電流測定確度
    ±(設定値×2% + 設定レンジ×0.1%)※1,※2
    ※1:2kAレンジはCS-220のみ
    ※2:1kAレンジはCS-220/CS-210のみ
  • ダイナミックレンジ(電流測定)
    測定レンジの125%まで測定可
  • 電源
    電源入力範囲:AC 100V ~ 240V ±10%、 50/60Hz
  • 消費電力
    • CS-220:最大300VA
    • CS-210/CS-205:最大270VA
  • 外形寸法
    • CS-220:424 mm × 176 mm × 556 mm(付属品、突起部を除く)
    • CS-210/CS-205:424 mm × 132 mm × 556 mm(付属品、突起部を除く)
  • 質量
    • CS-220:約22kg
    • CS-210/CS-205:約21kg
  • 付属品
    • HC-FIXTURE接続ユニット
    • 接続ブラケット(×4)
    • 電源コード
    • コードストラップ
    • ユーザガイド
    • セールスネットワーク